EPC压力控制模块
MFC流量控制模块
产品特点
控制稳定性 0.001psi (优于0.002%FS)
PID快速响应
单阀门支持流动气体控制
双阀门支持密闭容器内压力控制
内置压力传感器 精度补偿范围 0~50度
MFC 流量控制器提供快速稳定流量控制
规格参数
通信方式
供电
压力范围
气路接口
电气接口
RS485
12~24VDC
0~100psi
M5,10-32或卡套接头
RJ45插头
RS485
12~24VDC
0~100LPM
M5,10-32或卡套接头
RJ45插头